真空泵、系统与组件 — 第 3 页

公开资料所述的真空泵、系统及专用组件。

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中固维科(成都)动力技术有限公司

真空/高低温步进电机、伺服电机、真空减速机

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中科艾科米(北京)科技有限公司

原子层沉积、分子束外延、扫描探针系统

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北京中科科仪股份有限公司

分子泵、检漏仪、真空测量和集成系统

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北京中科科美科技股份有限公司

空间环境模拟、气体充装回收检漏、大科学真空工程

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北京星微自动化科技有限公司

真空运动平台、步进电机、真空计和馈通件

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合肥昱驰真空技术有限公司

磁悬浮分子泵、机械轴承分子泵

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嘉兴卓尔精密机械有限公司

真空腔体、真空阀、精密真空零件

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